Micromachines as tools for nanotechnology
Gespeichert in:
| Weitere Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Berlin
Springer
2003
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| Schriftenreihe: | Microtechnology and MEMS
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| Schlagworte: | |
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