VLSI technology /

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Covers the broad spectrum of VLSI processes, semiconductor technology, micromachining, microelectronics packaging, compound semiconductor digital integrated circuit technology, and multichip module technologies.

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書誌詳細
その他の著者:	Chen, Wai-Kai, 1936-
フォーマット:	図書
言語:	English
出版事項:	Boca Raton : CRC Press, 2003.
シリーズ:	Principles and applications in engineering ; 8.
主題:	Integrated circuits > Very large scale integration.
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