Rare-earth implanted MOS devices for silicon photonics microstructural, electrical and optoelectronic properties /
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| Format: | E-Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Berlin, Heidelberg
Springer
2010.
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| Schriftenreihe: | Springer Series in Materials Science,
142 |
| Schlagworte: | |
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