Nanofabrication : Techniques and principles /
Intended to update scientists and engineers on the current state of the art in a variety of key techniques used extensively in the fabrication of structures at the nanoscale. The present work covers the essential technologies for creating sub 25 nm features lithographically, depositing layers with n...
محفوظ في:
| مؤلف مشترك: | |
|---|---|
| مؤلفون آخرون: | , |
| التنسيق: | كتاب الكتروني |
| اللغة: | English |
| منشور في: |
Vienna :
Springer Vienna
2012.
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | Click here to view the full text content |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|