Micromechanics and MEMS : classic and seminal papers to 1990 /

Micromechanics and MEMS : classic and seminal papers to 1990 /

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Detalles Bibliográficos
Autor Corporativo: Institute of Electrical and Electronics Engineers
Outros autores: Trimmer, W.
Formato: Libro
Idioma:English
Publicado: New York IEEE Press 1997.
Subjects:
Microelectronics
Microelectromechanical systems.
Actuators.
Tags: Engadir etiqueta
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