Micromechanics and MEMS : classic and seminal papers to 1990 /

Micromechanics and MEMS : classic and seminal papers to 1990 /

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Detalhes bibliográficos
Autor Corporativo: Institute of Electrical and Electronics Engineers
Outros Autores: Trimmer, W.
Formato: Livro
Idioma:English
Publicado em: New York IEEE Press 1997.
Assuntos:
Microelectronics
Microelectromechanical systems.
Actuators.
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