Micromechanics and MEMS : classic and seminal papers to 1990 /

Micromechanics and MEMS : classic and seminal papers to 1990 /

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Dettagli Bibliografici
Ente Autore:	Institute of Electrical and Electronics Engineers
Altri autori:	Trimmer, W.
Natura:	Libro
Lingua:	English
Pubblicazione:	New York IEEE Press 1997.
Soggetti:	Microelectronics Microelectromechanical systems. Actuators.
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