An Introduction to microelectromechanical systems engineering /
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| Autor Principal: | |
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| Outros autores: | |
| Formato: | Libro |
| Idioma: | English |
| Publicado: |
Boston
Artech House
2004
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| Edición: | Second edition. |
| Series: | Microelectromechanical systems series
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| Subjects: | |
| Tags: |
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