An Introduction to microelectromechanical systems engineering /
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| Autor principal: | |
|---|---|
| Outros Autores: | |
| Formato: | Livro |
| Idioma: | English |
| Publicado em: |
Boston
Artech House
2004
|
| Edição: | Second edition. |
| coleção: | Microelectromechanical systems series
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| Assuntos: | |
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