An Introduction to microelectromechanical systems engineering /
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| 第一著者: | |
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| その他の著者: | |
| フォーマット: | 図書 |
| 言語: | English |
| 出版事項: |
Boston
Artech House
2004
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| 版: | Second edition. |
| シリーズ: | Microelectromechanical systems series
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| 主題: | |
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