Fabrication of silicon nanowires using scanning electron microscope based electron beam lithography method /

Fabrication of silicon nanowires using scanning electron microscope based electron beam lithography method /

The goal of this research work is to form and produce very small nanowires using a Top-Down Nanofabrication Method which involved Scanning Electron Microscope (SEM) based Electron Beam Litography (EBL) method.

Αποθηκεύτηκε σε:
Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας: Mohammad Nuzaihan Bin Md Nor (Συγγραφέας)
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: Universiti Malaysia Perlis
Μορφή: Thesis Λογισμικό Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:English
Έκδοση: Kangar Universiti Malaysia Perlis (UniMAP) 2007.
Θέματα:
Nanowires
Nanostructure materials > Electric properties
Electrochemistry.
Ετικέτες: Προσθήκη ετικέτας
Δεν υπάρχουν, Καταχωρήστε ετικέτα πρώτοι!
Περιγραφή
Περίληψη:The goal of this research work is to form and produce very small nanowires using a Top-Down Nanofabrication Method which involved Scanning Electron Microscope (SEM) based Electron Beam Litography (EBL) method.
Περιγραφή τεκμηρίου:Tesis 2007
Accompanied by CD-ROM (901000006)
Φυσική περιγραφή:xxv, 108 p. ill. 30 cm. + 1 CD-ROM (4 3/4 in.)

Παρόμοια τεκμήρια