Microchannel interrogation with Twyman-Green Interferometer/
The main objective of this study is to develop a non-contact measuring instrument capable of performing depth measurements of a microfluidic channel made of silica wafer.
Salvato in:
| Autore principale: | |
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| Ente Autore: | |
| Natura: | Tesi Libro |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
Perlis, Malaysia
School of Microelectronic Engineering
2011.
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| Soggetti: | |
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