Mems and microsystems : design, manufacture, and nanoscale engineering
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| मुख्य लेखक: | |
|---|---|
| स्वरूप: | पुस्तक |
| भाषा: | English |
| प्रकाशित: |
Hoboken, NJ
John Wiley & Sons
2008
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| संस्करण: | Second edition |
| विषय: | |
| टैग : |
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| भौतिक वर्णन: | xxv, 550 pages: 24 cm. |
|---|---|
| ग्रन्थसूची: | Bibliography: p. 509-521. |
| आईएसबीएन: | 0470083018 (hc) 9780470083017 (hc) |