Mems and microsystems : design, manufacture, and nanoscale engineering
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | |
| Язык: | English |
| Опубликовано: |
Hoboken, NJ
John Wiley & Sons
2008
|
| Редактирование: | Second edition |
| Предметы: | |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| Объем: | xxv, 550 pages: 24 cm. |
|---|---|
| Библиография: | Bibliography: p. 509-521. |
| ISBN: | 0470083018 (hc) 9780470083017 (hc) |