Mems and microsystems : design, manufacture, and nanoscale engineering
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| 主要作者: | |
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| 格式: | 圖書 |
| 語言: | English |
| 出版: |
Hoboken, NJ
John Wiley & Sons
2008
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| 版: | Second edition |
| 主題: | |
| 標簽: |
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| 實物描述: | xxv, 550 pages: 24 cm. |
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| 參考書目: | Bibliography: p. 509-521. |
| ISBN: | 0470083018 (hc) 9780470083017 (hc) |