Mems and microsystems : design, manufacture, and nanoscale engineering

Gorde:
Xehetasun bibliografikoak
Egile nagusia: Hsu, Tai-Ran (Egilea)
Formatua: Liburua
Hizkuntza:English
Argitaratua: Hoboken, NJ John Wiley & Sons 2008
Edizioa:Second edition
Gaiak:
Etiketak: Etiketa erantsi
Etiketarik gabe, Izan zaitez lehena erregistro honi etiketa jartzen!
Deskribapena
Deskribapen fisikoa:xxv, 550 pages: 24 cm.
Bibliografia:Bibliography: p. 509-521.
ISBN:0470083018 (hc)
9780470083017 (hc)