Mems and microsystems : design, manufacture, and nanoscale engineering
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Hoboken, NJ
John Wiley & Sons
2008
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| Ausgabe: | Second edition |
| Schlagworte: | |
| Tags: |
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