Mems and microsystems : design, manufacture, and nanoscale engineering
保存先:
| 第一著者: | |
|---|---|
| フォーマット: | 図書 |
| 言語: | English |
| 出版事項: |
Hoboken, NJ
John Wiley & Sons
2008
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| 版: | Second edition |
| 主題: | |
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