Mems and microsystems : design, manufacture, and nanoscale engineering
Enregistré dans:
| Auteur principal: | |
|---|---|
| Format: | Livre |
| Langue: | English |
| Publié: |
Hoboken, NJ
John Wiley & Sons
2008
|
| Édition: | Second edition |
| Sujets: | |
| Tags: |
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