Mems and microsystems : design, manufacture, and nanoscale engineering

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Autore principale: Hsu, Tai-Ran (Autore)
Natura: Libro
Lingua:English
Pubblicazione: Hoboken, NJ John Wiley & Sons 2008
Edizione:Second edition
Soggetti:
Microelectronics.
Microelectromechanical systems.
Microelectronic packaging.
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MEMS and microsystems : design, manufacture and nanoscale engineering /
di Hsu, Tai-Ran
Pubblicazione 2008
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