MEMS : design and fabrication /
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| अन्य लेखक: | |
|---|---|
| स्वरूप: | पुस्तक |
| भाषा: | English |
| प्रकाशित: |
Boca Raton, FL
CRC Press/Taylor & Francis Group
2006.
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| संस्करण: | Second edition |
| श्रृंखला: | Mechanical engineering series (Boca Raton, Fla.)
The MEMS handbook |
| विषय: | |
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