MEMS : design and fabrication /
Gespeichert in:
| Weitere Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Boca Raton, FL
CRC Press/Taylor & Francis Group
2006.
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| Ausgabe: | Second edition |
| Schriftenreihe: | Mechanical engineering series (Boca Raton, Fla.)
The MEMS handbook |
| Schlagworte: | |
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