MEMS : design and fabrication /

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Detalles Bibliográficos
Otros Autores: Gad-el-Hak, Mohamed, 1945-
Formato: Libro
Lenguaje:English
Publicado: Boca Raton, FL CRC Press/Taylor & Francis Group 2006.
Edición:Second edition
Colección:Mechanical engineering series (Boca Raton, Fla.)
The MEMS handbook
Materias:
Microelectromechanical systems > Design and construction.
Microfabrication.
Microelectromechanical systems
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