MEMS : design and fabrication /

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Dettagli Bibliografici
Altri autori:	Gad-el-Hak, Mohamed, 1945-
Natura:	Libro
Lingua:	English
Pubblicazione:	Boca Raton, FL CRC Press/Taylor & Francis Group 2006.
Edizione:	Second edition
Serie:	Mechanical engineering series (Boca Raton, Fla.) The MEMS handbook
Soggetti:	Microelectromechanical systems > Design and construction. Microfabrication. Microelectromechanical systems
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