MEMS : design and fabrication /
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| 其他作者: | |
|---|---|
| 格式: | 图书 |
| 语言: | English |
| 出版: |
Boca Raton, FL
CRC Press/Taylor & Francis Group
2006.
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| 版: | Second edition |
| 丛编: | Mechanical engineering series (Boca Raton, Fla.)
The MEMS handbook |
| 主题: | |
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