MEMS : design and fabrication /
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| Altri autori: | |
|---|---|
| Natura: | Libro |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
Boca Raton, FL
CRC Press/Taylor & Francis Group
2006.
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| Edizione: | Second edition |
| Serie: | Mechanical engineering series (Boca Raton, Fla.)
The MEMS handbook |
| Soggetti: | |
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