MEMS : design and fabrication /

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Dettagli Bibliografici
Altri autori: Gad-el-Hak, Mohamed, 1945-
Natura: Libro
Lingua:English
Pubblicazione: Boca Raton, FL CRC Press/Taylor & Francis Group 2006.
Edizione:Second edition
Serie:Mechanical engineering series (Boca Raton, Fla.)
The MEMS handbook
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