MEMS : design and fabrication /
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| Outros Autores: | |
|---|---|
| Formato: | Livro |
| Idioma: | English |
| Publicado em: |
Boca Raton, FL
CRC Press/Taylor & Francis Group
2006.
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| Edição: | Second edition |
| Colecção: | Mechanical engineering series (Boca Raton, Fla.)
The MEMS handbook |
| Assuntos: | |
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