Introduction to microfabrication /

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書目詳細資料
主要作者: Franssila, Sami (Author)
格式: 圖書
語言:English
出版: Chichester John Wiley & Sons c2004.
主題:
Microelectromechanical systems.
Electronic apparatus and appliances.
Microfabrication.
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由 Franssila, Sami
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