Introduction to microfabrication /

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Franssila, Sami (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Chichester John Wiley & Sons c2004.
Schlagworte:
Microelectromechanical systems.
Electronic apparatus and appliances.
Microfabrication.
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