Nanoscale calibration standards and methods : dimensional and related measurements in the Micro- and nanometer range /
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| Outros Autores: | , |
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| Formato: | Livro |
| Idioma: | English |
| Publicado em: |
Weinheim
Wiley-VCH
2005.
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| Descrição Física: | xxii, 519 pages: illustrations; 25 cm. |
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| ISBN: | 352740502X |