Microengineering of metals and ceramics /
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| Weitere Verfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Weinheim
Wiley-VCH
c2005.
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| Schriftenreihe: | Advanced micro & nanosystems
v.4 |
| Schlagworte: | |
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Inhaltsangabe:
- pt. 2. Special replication techniques, automation, and properties.