MEMS and NEMS : system, devices, and structures /
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| 主要作者: | |
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| 格式: | 圖書 |
| 語言: | English |
| 出版: |
Boca Raton
CRC Press
c2002.
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| 叢編: | Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series.
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| 主題: | |
| 標簽: |
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| 實物描述: | 461 pages: illustrations; 24 cm. |
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| ISBN: | 0849312620 9780849312625 |