MEMS and NEMS : system, devices, and structures /
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| Auteur principal: | |
|---|---|
| Format: | Livre |
| Langue: | English |
| Publié: |
Boca Raton
CRC Press
c2002.
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| Collection: | Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series.
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| Sujets: | |
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