MEMS mechanical sensors /
保存先:
| その他の著者: | |
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| フォーマット: | 図書 |
| 言語: | English |
| 出版事項: |
Boston
Artech House
c2004.
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| 主題: | |
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| 物理的記述: | x, 269 pages : illustrations ; 26 cm. |
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| 書誌: | Includes bibliographical references. |
| ISBN: | 1580535364 |