Nano- and micro-electromechanical systems : fundamentals of nano- and microengineering /
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| मुख्य लेखक: | |
|---|---|
| स्वरूप: | पुस्तक |
| भाषा: | English |
| प्रकाशित: |
©2005
|
| संस्करण: | 2nd ed. |
| श्रृंखला: | Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series
8 |
| विषय: | |
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