Comparison of etching optimization process by taguchi method using minitab and design expert software
A design of experiment for high throughput pad etch by reactive ion etch is reported. Design of Experiment (DOE) is a technique for optimizing process which has controllable inputs and measurable outputs. The L9 orthogonal array DOE using Taguchi method is applied for Passivation Module (Pad Etch)...
Kaydedildi:
| Yazar: | |
|---|---|
| Materyal Türü: | Elektronik Yazılım Veritabanı |
| Dil: | English |
| Konular: | |
| Etiketler: |
Etiketle
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!
|
Sistem Bakımda
Kütüphane sistemimiz bakımda.
Kopya kayıtları ve kayıların durum bilgileri şu anda erişilebilir değil. Bunun için özür dileriz, daha fazla yardım için bizimle irtibata geçebilirsiniz: