Reactive ion etching (RIE) etched wet-silica-on-silicon analysis for fluidwettability

The objective of this project is to analyze fluid wettability with water droplets testing on etched silicon thus to observe the characterization on wafer surface profile of RIE etched wet-silica-on-silicon using Atomic Force Microscope (AFM).

Сохранить в:
Библиографические подробности
Главный автор: Noor Aini Hamimah Abd. Rahim (Автор)
Формат: Электронный ресурс Программное обеспечение База данных
Язык:English
Предметы:
Метки: Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
Описание
Итог:The objective of this project is to analyze fluid wettability with water droplets testing on etched silicon thus to observe the characterization on wafer surface profile of RIE etched wet-silica-on-silicon using Atomic Force Microscope (AFM).
Примечание:Final Year Project
Объем:1 CD-ROM 4 3/4 in.