Reactive ion etching (RIE) etched wet-silica-on-silicon analysis for fluidwettability

The objective of this project is to analyze fluid wettability with water droplets testing on etched silicon thus to observe the characterization on wafer surface profile of RIE etched wet-silica-on-silicon using Atomic Force Microscope (AFM).

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Auteur principal: Noor Aini Hamimah Abd. Rahim (Auteur)
Format: Électronique Logiciel Base de données
Langue:English
Sujets:
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