Microfluidic poly-si electrodes capacitor (fabricate & testing)

The objectives of this project is to fabricate a micro channel on silicon wafer and to measure the capacitance and electrical properties as a whole.

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Detalhes bibliográficos
Autor principal: Esmal Fhadly Abd Malek (Author)
Formato: Recurso Electrónico Software Base de Dados
Idioma:English
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Descrição
Resumo:The objectives of this project is to fabricate a micro channel on silicon wafer and to measure the capacitance and electrical properties as a whole.
Descrição do item:Final Year project
Descrição Física:1 CD-ROM 4 3/4 in.