Microfluidic poly-si electrodes capacitor (fabricate & testing)

The objectives of this project is to fabricate a micro channel on silicon wafer and to measure the capacitance and electrical properties as a whole.

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Esmal Fhadly Abd Malek (VerfasserIn)
Format: Elektronisch Software Datenbank
Sprache:English
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