Vertical electrostatic comb-drive actuator for MEMs design /

This final year project is about vertical electrostatic comb-drive actuator. A comb-finger structure is disclosed for use in optical switching applications. Large displacements of movable fingers were in consideration for the optical applications. The comb-finger structure is able to produce actuati...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Wan Mokhdzani Wan Nor Haimi (مؤلف)
التنسيق: برمجيات قاعدة البيانات
اللغة:English
الموضوعات:
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!