MEMS : a practical guide to design, analysis, and applications /
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| Autor Principal: | |
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| Outros autores: | , |
| Formato: | Software eBook |
| Idioma: | English |
| Publicado: |
Heidelberg, Germany
Springer
2006.
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| Descrición Física: | 1 CD-ROM 12 cm. |
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| Bibliografía: | Includes bibliographical references and index. |
| ISBN: | 9780815518280 (ebook) 0815518285 (ebook) |