MEMS : a practical guide to design, analysis, and applications /

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書誌詳細
第一著者:	Korvink, Jan (著者)
その他の著者:	Korvink, J. G. (Jan G.), Paul, Oliver
フォーマット:	ソフトウェア eBook
言語:	English
出版事項:	Heidelberg, Germany Springer 2006.
主題:	Microelectromechanical systems.
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