Fabrication and Characterization of Poly-Silicon Dioxide Nanogap Based on Capacitive Sensor by using Size Expansion Technique /
The aim of this research is to design, fabricate and characterize an array of planar nanogap capacitive sensor based on Poly-SiO2 structure by using size expansion technique.
Tallennettuna:
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Aineistotyyppi: | Opinnäyte Tietokoneohjelma E-kirja |
| Kieli: | English |
| Julkaistu: |
Perlis, Malaysia
School of Nanoelectronic Engineering
2012.
|
| Aiheet: | |
| Tagit: |
Lisää tagi
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
|
Järjestelmä pois käytöstä
Kirjastojärjestelmä on juuri nyt pois käytöstä.
Saatavuustiedot eivät ole juuri nyt käytettävissä. Pahoittelemme tästä aiheutunutta vaivaa. Voitte ottaa yhteyttä: