Multilayer thin electrostatic actuator supported by only lubricating oil for fine stages
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| Autor Corporativo: | |
| Formato: | Tesis Libro |
| Publicado: |
2012
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Perpustakaan Laman Hikmah Kampus Induk, UTeM: Archives
| Número de Clasificación: |
TK2411 M37 2012 |
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