Multilayer thin electrostatic actuator supported by only lubricating oil for fine stages
Αποθηκεύτηκε σε:
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: | |
| Μορφή: | Thesis Βιβλίο |
| Έκδοση: |
2012
|
| Θέματα: | |
| Ετικέτες: |
Προσθήκη ετικέτας
Δεν υπάρχουν, Καταχωρήστε ετικέτα πρώτοι!
|
| Φυσική περιγραφή: | iv, 158 p. ill. 30 cm |
|---|