Multilayer thin electrostatic actuator supported by only lubricating oil for fine stages
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| 1. Verfasser: | |
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| Körperschaft: | |
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Veröffentlicht: |
2012
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Perpustakaan Laman Hikmah Kampus Induk, UTeM: Archives
| Signatur: |
TK2411 M37 2012 |
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| Exemplar Unknown | Verfügbar Bestellen |