MEMS fundamental technology and applications
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| Weitere Verfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Boca Raton, FL
CRC Press
2013
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| Schriftenreihe: | Devices, circuits, and systems
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| Schlagworte: | |
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