MEMS : design and fabrication /
Gardado en:
| Outros autores: | |
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| Formato: | Libro |
| Idioma: | English |
| Publicado: |
Boca Raton, FL
CRC Press/Taylor & Francis Group
2006.
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| Edición: | Second edition |
| Series: | Mechanical engineering series (Boca Raton, Fla.)
The MEMS handbook |
| Subjects: | |
| Tags: |
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